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堀場エステック「京都福知山工場」が本格稼働 自働化・効率化を追求した基幹工場でMFC生産能力を将来最大約3倍に

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本格稼働を開始した堀場エステック京都福知山工場。投資総額約170億円、延床面積約23,000平方メートルの基幹工場で、MFCや薬液濃度モニターを生産する。(出典:堀場製作所)

HORIBAグループで半導体事業を担う堀場エステックは2026年6月11日、主力製品であるマスフローコントローラー(MFC)や薬液濃度モニターなどを生産する「京都福知山工場」の本格稼働を開始したと発表した。投資総額は約170億円。国内のMFC生産能力を将来的に最大約3倍、薬液濃度モニターも最大約2倍まで引き上げ、長期的な安定供給体制を確立する。

福知山工場は延床面積約23,000平方メートルを有し、自働化ラインや自動搬送装置を導入した量産技術を牽引する基幹工場と位置づけられる。需要変動が生じやすい半導体市場において、生産量の増減に柔軟に対応できる体制の構築を目指す。MFCは半導体製造プロセスでガスの流量を精密に制御する装置で、堀場エステックの主力製品だ。

工場の特長は3点ある。第1に、自働化ラインと自動搬送装置による量産体制だ。約10,000平方メートルの生産エリアでは、MFCと薬液濃度モニターに加え、自社製品に用いるプリント基板を生産する。MFCの生産では、これまで手作業で行う必要があった調整工程にロボットアームを導入し、省人化と作業手順のばらつき低減による品質安定化を図る。工場内の搬送にはAGV(無人搬送車)やAMR(自律搬送ロボット)を取り入れ、工程全体の効率化を進める。

第2に、データの統合・可視化による工場運営の高度化だ。HORIBA独自のデータマネジメントシステムを活用し、工場内に分散する情報を一元管理する。クリーンルームでは大気の汚染状況を計測するなど、工場各所にHORIBAの計測機器を設置し、設備の運転データや各種モニタリング情報を可視化・分析する。生産工程で得られるデータは隣接する研究開発拠点「京都福知山テクノロジーセンター」と共有し、AIやデジタルツイン技術を活用して製品開発の効率化や次世代技術の早期実装につなげる。

第3に、再生可能エネルギーの活用だ。本工場はZEB(ネット・ゼロ・エネルギー・ビル)を実現しており、屋上に総面積約5,000平方メートルの太陽光パネルを設置している。発電した電力を工場内で活用し、余剰電力は水電解により水素へ変換・貯蔵して燃料電池で発電する「つくる・ためる・つかう」エネルギー循環を構築している。

工場は2024年7月に着工し、2026年1月に竣工した。従業員数は2026年5月末時点で約50名だが、2030年までに600〜800名の体制を目指して段階的に増強する。堀場エステックは本工場の稼働を契機に、隣接する京都福知山テクノロジーセンターとの連携を本格化し、福知


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プレスリリース:https://prtimes.jp/main/html/rd/p/000000048.000103757.html

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