ロームは2026年8月4日、共鳴トンネルダイオード（RTD）を用いたテラヘルツ波発振デバイスの第2世代品を開発したと発表した。第1世代品と同じ0.5×0.5mmのチップサイズながら、発振出力を4倍の最大40µWに高めた。サンプル品とケーブル、評価ボードをセットにした評価キット「RTD-EVK-G2」として、2026年8月から35万円／セット（税抜）で販売を始める。

テラヘルツ波は、電波と光の中間の周波数領域に位置する電磁波だ。電波のような透過性と、光のような直進性を併せ持つ。高分子材料や水分に対する特有の吸収特性があることから、放射線を使わない非破壊検査や、医療・ヘルスケア分野での検査技術、高精細なレーダーセンシングへの活用が見込まれている。共鳴トンネルダイオードは、半導体素子を用いたテラヘルツ波光源の一つで、小型・低消費電力で、室温での発振が可能な点を特徴とする。

開発の背景には、テラヘルツ波の研究・事業化における参入の難しさがある。テラヘルツ波の発振方式には、電気信号の周波数を整数倍に変換して出力する周波数逓倍方式や、波長の異なる2つのレーザー光をフォトミキサで混合して差周波から生成するフォトミキシング方式がある。いずれも装置が大型かつ高額になるため、新規参入の障壁となっていた。

ロームは2000年代後半から、東京科学大学や大阪大学など複数の大学・研究機関と共同研究を進め、RTDを用いたテラヘルツ波発振・検出デバイスを開発してきた。2024年には第1世代品のサンプル提供を始め、従来方式と比べた小型化と低コスト化を達成している。第1世代品の提供を通じて、より高出力なデバイスを求める声が寄せられたことから、今回の第2世代品の開発に至った。

第2世代品の特徴は3点ある。第1に、高出力化が可能な内部構造とすることで、チップサイズを変えずに発振出力を第1世代品の4倍となる最大40µWへ高めた。対象物を透過・反射した後のテラヘルツ波を検出しやすくなるため、高い信号品質が求められるセンシングやイメージングに活用できる。

第2に、パッケージには第1世代品と同じ4.0×4.3mmのPLCCを採用し、ローム調べで業界最小サイズを維持した。PLCCは半導体集積回路のパッケージの一種だ。限られたスペースでも評価環境を構築できる。

第3に、RTD方式は他方式と比べて発熱量が小さく、消費電力も低い。企業や研究機関がアプリケーションを開発する際の負担を軽減する。

評価キット「RTD-EVK-G2」は、Digilent社が販売する計測ツールやパソコン、ソフトウェアと組み合わせることで、テラヘルツ波の発振・検出を評価できる。デバイス、評価ボードともに小型で、限られたスペースでも研究・開発環境を構築できる。購入にはロームとの機密保持契約の締結が必要となる。ロームは、低消費電力を重視する用途に向けて第1世代品の販売も継続する。同社は、用途に応じて両世代を提案することで、テラヘルツ波アプリケーション開発の幅を広げ、テラヘルツ技術の早期産業化と社会実装に取り組むとしている。

関連情報

プレスリリース：https://prtimes.jp/main/html/rd/p/000000125.000062988.html

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